气浮平移台实现了设计定型,可以快速订制,行程250mm(12寸)XY台正在备现货。
? 我公司的气浮平移台产品,一般采用直线电机、光栅尺配合气浮导轨的方法,分辨率好于200nm,精度等同于光栅精度。
? 也可提供双频激光反馈控制,稳定精度可达20nm,有成功案例。
? 采取隔尘措施后,可应用于高精度生产场合。
? 可提供超长行程单轴工作台。
? 也可采用音圈电机、高精度丝杠配合我们独创的5自由度气浮联轴器,驱动工作台。
? 平移台可以安装气浮主轴和气浮转台。
3轴龙门气浮平移台(已设计定型) 3轴气浮平移台(已设计定型,图示为带防护型)
应用于:集成电路测试、CCD镜头拼接仪等精密 应用于:上述龙门气浮平移台所有应用场合,台面相
超精密测量场合。 对小一些。此时一般要去掉部分防护。
应用于:高精度激光加工等精密加工场合 应用于:光学零件加工设备、超精密加工设备
3轴气浮平移台的一部分可以单独供货,是单轴或双轴气浮平移台
双轴气浮平移台 双轴气浮平移台(带防护) 单轴气浮平移台 单轴气浮平移台(带防护)
其他案例
10m长行程单轴平移台 3轴气浮平移台(带主轴和转台) 3轴气浮平移台(Z轴提升式)